L’euv ad alta na migliora i requisiti di precisione per le apparecchiature semiconduttori

L’euv ad alta na migliora i requisiti di precisione per le apparecchiature semiconduttori

L’industria dei semiconduttori sta entrando in un’altra difficile fase di miniaturizzazione.

La sfida non consiste più semplicemente nel produrre transistor più piccoli. I produttori di semiconduttori cercano anche apparecchiature in grado di mantenere un controllo di processo estremamente rigoroso,man mano che le architetture dei chip diventano più complesse.

La litografia EUV ad alto livello è una delle tecnologie al centro di questa transizione.

I recenti sviluppi mostrano che la tecnologia sta andando oltre le discussioni di laboratorio verso un’adozione industriale più ampia. La Reuters ha riportato il 14 settembre che ASML' s la prossima generazione di sistemi EUV ad alta na suscita un forte interesse da parte dei principali chipmakers,con TSMC, Samsung e SK Hynix tra le società che si stanno preparando per una futura adozione.

Per l’industria del controllo del movimento, lo sviluppo ha importanti implicazioni:

La precisione delle apparecchiature a semiconduttori dipende sempre più dalle prestazioni di ogni movimento all’interno della macchina.

Le apparecchiature a semiconduttore dipendono dal movimento controllato

Un sistema di litografia è un’attrezzatura estremamente complessa, ma lo stesso principio si applica alla produzione di semiconduttori.

I sistemi di manipolazione delle fette richiedono un movimento controllato.

Le apparecchiature di controllo devono essere posizionate ripetutamente.

I meccanismi di allineamento richiedono un movimento rotante o lineare stabile.

I sistemi di movimentazione dei materiali richiedono un’accelerazione e una decelerazione prevedibili.

Le apparecchiature di processo richiedono che i componenti si muovano accuratamente senza introdurre vibrazioni inutili.

Tali requisiti impongono condizioni rigorose a motori, cuscinetti, guide lineari, cambi e altri componenti di trasmissione.

L’euv di alto livello spinge ulteriormente le prestazioni delle apparecchiature

ASML' La tecnologia EUV ad alta na è progettata per sostenere la continua espansione della produzione avanzata di semiconduttori.

La Reuters ha riferito che l’attuale generazione di strumenti EUV può elaborare chip fino a circa 800 millimetri quadrati, mentre ASML sta lavorando a maschere più grandi per i suoi sistemi ad alta na in modo che la tecnologia possa infine supportare chip più grandi per centri dati. L’azienda si aspetta che questo sviluppo migliori la produttività.

Il progresso tecnico evidenzia una tendenza più ampia per le apparecchiature a semiconduttori.

Man mano che la finestra del processo diventa più stretta, i fabbricanti di apparecchiature hanno meno spazio per errori meccanici.

Un sistema di posizionamento che funzioni adeguatamente per un’applicazione convenzionale può non essere adatto per un processo che richiede stabilità e ripetibilità significativamente superiori.

Dove il controllo del movimento diventa critico

Il movimento all’interno delle apparecchiature a semiconduttori spesso non è drammatico.

Un palcoscenico può percorrere solo una breve distanza.

Un meccanismo rotante può ruotare ad angolo piccolo.

Un meccanismo di manipolazione delle fette può effettuare ripetutamente lo stesso movimento.

Ma la ripetizione cambia il requisito tecnico.

Il sistema potrebbe dover eseguire lo stesso movimento migliaia o milioni di volte mantenendo un comportamento prevedibile.

Pertanto, nella scelta dei componenti della trasmissione possono diventare importanti considerazioni fattori quali il contraccolpo, le vibrazioni, la rigidità, la precisione di posizionamento e il comportamento termico.

Questo è uno dei motivi per cui i cambi planetari di precisione, i riduttori armonici, i meccanismi rotanti e i sistemi a movimento lineare continuano ad avere applicazioni in apparecchiature collegate ai semiconduttori.

Il cambio è solo una parte del sistema

Un cambio di precisione non può compensare un motore inadeguato, una struttura meccanica inadeguata o un sistema di controllo inadeguato.

La trasmissione deve lavorare insieme al resto del sistema di movimento.

Ad esempio, un servomotore può fornire la velocità e la risposta dinamica richieste, mentre un cambio planetario permette la moltiplicazione della coppia e la riduzione controllata della velocità.

Un cambio armonico può essere scelto se sono necessarie dimensioni compatte e una trasmissione rotante precisa.

Un cambio ad angolo retto può risolvere un problema di assetto meccanico quando il motore non può essere installato in linea con l’asse motore.

Un meccanismo lineare A motore o a vite può essere utilizzato quando la macchina richiede un movimento lineare controllato.

La scelta corretta dipende dall’asse piuttosto che semplicemente dal nome dell’industria.

Vibrazioni e urti nelle apparecchiature di precisione

In generale, una piccola quantità di gioco meccanico può avere scarsi effetti sulla produzione.

Le apparecchiature semiconduttori di precisione sono diverse.

I movimenti indesiderati possono influire sull’allineamento, il posizionamento e la ripetibilità. Le vibrazioni meccaniche possono anche influenzare le prestazioni dei processi sensibili.

Ciò rende importanti, durante la progettazione dell’attrezzatura, caratteristiche di trasmissione quali la resistenza alla schiena e la rigidità torsionale.

Per i costruttori di macchine OEM, il processo di selezione del cambio deve quindi iniziare con il requisito del movimento completo piuttosto che con un semplice confronto della coppia nominale.

Le apparecchiature a semiconduttori sono sempre più integrate

Un altro cambiamento è la crescente integrazione dei sistemi meccanici ed elettronici.

I comandi di movimento, le servocomandi, i motori, i sensori e i componenti meccanici di trasmissione funzionano sempre più come un unico sistema coordinato.

Trasmissione Fenghua ' s portafoglio di prodotti comprende la precisioneCambi planetari, Riduttori armonici, Riduttori RV, cambi ad angolo retto, piattaforme rotanti, motori e prodotti di moto lineare per apparecchiature di automazione industriale e di precisione.

Per i fabbricanti di apparecchiature, questo tipo di gamma di prodotti consente di prendere in considerazione tecnologie di trasmissione diverse a seconda dei requisiti dei singoli assi delle macchine.

Cosa significa per i fornitori di componenti

Lo sviluppo di EUV ad alto livello è un esempio di una tendenza più ampia nella produzione avanzata.

Più il processo di produzione è impegnativo, maggiore è l’attenzione che i fabbricanti di apparecchiature devono prestare ai dettagli meccanici che un tempo erano dati per scontati.

I cambi non determinano da soli le prestazioni di una macchina a semiconduttori.

Ma la stabilità, la ripetibilità e il comportamento meccanico di ogni fase di trasmissione possono contribuire alle prestazioni dell’attrezzatura completa.

Trasmissione Fenghua Per i fornitori di componenti di movimento di precisione, quindi, l’opportunità è strettamente collegata all’ingegneria delle attrezzature.

La comprensione dei requisiti di applicazione, motore, carico, velocità, spazio di installazione e posizione è spesso più utile della semplice fornitura di un cambio di velocità standard.

Poiché le apparecchiature a semiconduttori continuano a evolvere, tale approccio a livello di applicazione rimarrà importante per la prossima generazione di produzione di precisione.